So, hab nochmal Kontrolle gemacht und bei mir kommt es jetzt hin. Ich hab in jeder Zelle der Parsingtabelle nur einen Eintrag.
Ich glaube, ich weiß, wo dein Fehler liegt: Wenn du die Produktion (5) B-> CfD anschaust, dann musst du als erstes in sämtliche Felder, die in First(C) liegen, eine 5 schreiben. Das ist bei mir erstmal nur d. Da aber auch ein Epsilon in First(C) enthalten ist, musst du dir auch die First-Menge vom nächsten Zeichen anschauen: das wäre dann First(f)=f. Dafür musst du dann auch wieder eine 5 bei Spalte f eintragen. Damit ist man dann fertig für die Produktion 5. Follow muss nicht mehr betrachtet werden, weil nach dem C kein weiteres Nicht-Terminal stand, welches ein Epsilon in seiner First-Menge hatte. Wenn du nun Produktion 6 anwendest, kannst du ganz normal bei Spalte c eine 6 eintragen.
VG
SoS